Project

In situ studie van nucleatie en groei tijdens atomaire laag depositie via synchrotron-gebaseerde X-stralen fluorescentie en verstrooiingstechnieken

Code

01P02412

Looptijd

01-10-2012 → 01-10-2013

Financiering

Gewestelijke en gemeenschapsmiddelen: Bijzonder Onderzoeksfonds

Promotor

Christophe Detavernier

Onderzoeksdisciplines

Natural sciences
- Condensed matter physics and nanophysics
- Analytical chemistry
- Macromolecular and materials chemistry
Engineering and technology
- Ceramic and glass materials
- Materials science and engineering
- Semiconductor materials
- Other materials engineering

Trefwoorden

GISAXS groeikinetiek X-stralen fluorescentie nucleatie atomaire laag depositie ALD

Projectomschrijving

Tijdens dit project is het de bedoeling om meer inzicht te verwerven in de nucleatie en groei van atomaire laag depositie (ALD) processen via in situ synchrotron-gebaseerde x-stralen fluorescentie en verstrooiingstechnieken. Hierbij ligt de focus op de initiële groeifase, de evolutie van de interne structuur van ALD lagen, en de evolutie van de oppervlakmorfologie tijdens ALD op lagen van nanodeeltjes.