Code
bof/bas/2025/049
Looptijd
01-12-2025 → 30-11-2027
Financiering
Gewestelijke en gemeenschapsmiddelen: Bijzonder Onderzoeksfonds
Promotor
Onderzoeksdisciplines
-
Natural sciences
- Photonics, optoelectronics and optical communications
-
Engineering and technology
- Nanophotonics
Trefwoorden
chiptechnologie
micro- en nanofabricage
NaMiFab
Projectomschrijving
De NaMiFab core facility is een high-tech infrastructuur voor nano- en microfabricagetechnologieën. Belangrijke processen omvatten het aanbrengen van patronen in nanometer- en micrometerniveau dikke films. Controle over de dikte van deze structuren is cruciaal. Dergelijke metingen worden uitgevoerd met een stylus profilometer, die met een naald over de structuur scant om de hoogte te meten. Onze huidige stylus profilometer is aan het einde van zijn levensduur en wordt niet langer door het bedrijf ondersteund. Ten tweede wordt een groot deel van het onderzoek opgeschaald van samples naar wafers (grote industriële standaardsubstraten). Daarom zou de nieuwe stylus-profilometer ook met deze grotere substraten moeten kunnen werken.