Twee meettoestellen zullen ontworpen worden om alle deeltjesfluxen die inkomen op het substraat tijdens depositie te karakteriseren. Deze zouden moeten toelaten om de energie, momentum en materiaalflux naar het substraat te modelleren i.f.v. de gebruikte depositieomstandigheden. Door deze te vergelijken met eigenschappen van de deklagen afgezet onder dezelfde omstandigheden, kunnen de fundamentele groeiprocessen bestudeerd worden.