Een biocompatibele en hermetische encapsulatiemethodiek wordt ontwikkeld voor geminiaturiseerde piëzo-elektrische ultrasone transducers (PMUTs) voor biomedische implantaten, waarbij via een zeer flexibele encapsulatie de PMUTs functioneel blijven. Zachte polymeerlagen (Parylene) gecombineerd met drievoudige ALD-lagen (HfO2/Al2O3/HfO2) moeten zorgen voor een langdurige hermetische afdichting, waardoor PMUT-toepassingen mogelijk worden zoals echografie, en draadloze overdracht van gegevens en energie tussen het implantaat en de buitenwereld.