Project

In situ studie van nucleatie en groei tijdens atomaire laag depositie via synchrotron-gebaseerde X-stralen fluorescentie en verstrooiingstechnieken

Looptijd
01-10-2012 → 01-10-2013
Financiering
Gewestelijke en gemeenschapsmiddelen: Bijzonder Onderzoeksfonds
Onderzoeksdisciplines
  • Natural sciences
    • Condensed matter physics and nanophysics
    • Analytical chemistry
    • Macromolecular and materials chemistry
  • Engineering and technology
    • Ceramic and glass materials
    • Materials science and engineering
    • Semiconductor materials
    • Other materials engineering
Trefwoorden
GISAXS groeikinetiek X-stralen fluorescentie nucleatie atomaire laag depositie ALD
 
Projectomschrijving

Tijdens dit project is het de bedoeling om meer inzicht te verwerven in de nucleatie en groei van atomaire laag depositie (ALD) processen via in situ synchrotron-gebaseerde x-stralen fluorescentie en verstrooiingstechnieken. Hierbij ligt de focus op de initiële groeifase, de evolutie van de interne structuur van ALD lagen, en de evolutie van de oppervlakmorfologie tijdens ALD op lagen van nanodeeltjes.