Ontwikkeling van microsystemen in rechtstreeks contact met het menselijk lichaam verloopt traag door hoge eisen omtrent veiligheid. In dit project willen we aantonen dat een samenstelling van verschillende oxide en/of nitride lagen, geproduceerd via ‘atomic layer deposition’, een betrouwbare biocompatibele en biostabiele barrière kan vormen, die de introductie van slimme medische microsystemen toelaat.