Project

Studie van ALD barrièrelagen voor het inbedden van elketronische en opto-elektronische componenten in een slim microsysteem dat in direct contact staat met het menselijk lichaam.

Code

3F024415

Looptijd

01-10-2015 → 30-09-2020

Financiering

Fonds voor Wetenschappelijk Onderzoek - Vlaanderen (FWO)

Promotor

Herbert De Smet

Mandaathouder

Celine Vanhaverbeke

Onderzoeksdisciplines

Natural sciences
- Analytical chemistry
- Macromolecular and materials chemistry
Engineering and technology
- Nanotechnology
- Design theories and methods
- Ceramic and glass materials
- Materials science and engineering
- Semiconductor materials
- Other materials engineering

Trefwoorden

Barrièrelagen embedden electronica biocompatibel ALD microsysteem

Projectomschrijving

Ontwikkeling van microsystemen in rechtstreeks contact met het menselijk lichaam verloopt traag door hoge eisen omtrent veiligheid. In dit project willen we aantonen dat een samenstelling van verschillende oxide en/of nitride lagen, geproduceerd via ‘atomic layer deposition’, een betrouwbare biocompatibele en biostabiele barrière kan vormen, die de introductie van slimme medische microsystemen toelaat.