Onderzoeksdisciplines
-
Engineering and technology
- Nanoelectronics
- Nanophotonics
- Micro- and nanoelectromechanical systems
- Microfabrication and manufacturing
- Nanofabrication and nanomanufacturing
Trefwoorden
microfabricatie
cleanroom
Omschrijving
NaMiFab bundelt de bewerkingsapparatuur en expertise voor Nano- en Microfabricage van drie UGent-onderzoeksgroepen uit de departementen INTEC (EA05) en ELIS (EA06) (Faculteit Ingenieurswetenschappen en Architectuur):
Onderzoeksgroep Fotonica (PRG)
Centrum voor Microsysteemtechnologie (CMST)
Groep vloeibare kristallen en fotonica (LCP)
Ongeveer 100 instrumenten, gebruikt voor fabricage en karakterisering op nano- en micrometerschaal, bevinden zich in het cleanroomgebouw van de Universiteit Gent op campus Ardoyen. Dit uitgebreide instrumentarium is relevant voor bijvoorbeeld toepassingen in fotonica, micro- en nano-elektronica, materiaalonderzoek en biomedische engineering.