Infrastructuur

Critical Point Dryer voor MEMS

Type
Apparatuur
Acroniem
CPD
Code
APP/00245
Datum van ingebruikname
01-01-2005 → …
Onderzoeksdisciplines
  • Natural sciences
    • Photonics, optoelectronics and optical communications
Trefwoorden
CPD MEMS droging kritische punt droging superkritisch CO₂
Merknaam/fabrikant
Leica CPD300
Andere informatie
 
Omschrijving

Critical Point Dryer voor het vrijmaken van delicate MEMS-structuren zonder vervorming door oppervlaktespanning.