Type
Apparatuur
Acroniem
SPM
Code
APP/00244
Datum van ingebruikname
01-07-2025 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Natural sciences
- Photonics, optoelectronics and optical communications
Trefwoorden
chemische verwerking
wafer reiniging
nat etsen wafers
labotafel
Merknaam/fabrikant
Electron MEC - SPM
Andere informatie
Omschrijving
Labotafels voor het nat etsen van wafers, met geïntegreerd spoel- en droogstations. Ondersteunt chemische processen met o.a. FeCl₃, HCl, TMAH, HF en IK73/CA25.