Type
Apparatuur
Acroniem
Lesker-PVD
Code
APP/00239
Datum van ingebruikname
01-07-2025 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Natural sciences
- Photonics, optoelectronics and optical communications
Trefwoorden
vacuüm depositie
PVD
dunne film depositie
multi-bron depositie
Merknaam/fabrikant
Kurt J. Lesker PRO Line PVD 200
Andere informatie
Omschrijving
De Kurt J. Lesker PRO Line PVD 200 is een modulair, volledig uitgerust dunne-filmdepositiesysteem. Wafers tot 8", 4 sputterskathodes en 6 e-beam pockets.