Type
Apparatuur
Acroniem
Lesker-PVD
Code
APP/00239
Datum van ingebruikname
01-07-2025 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Natural sciences
- Photonics, optoelectronics and optical communications
Trefwoorden
vacuüm depositie
PVD
dunne film depositie
multi-bron depositie
Merknaam/fabrikant
Kurt J. Lesker PRO Line PVD 200
Andere informatie
Omschrijving
The Kurt J. Lesker PRO Line PVD 200 is a modular, full featured thin film deposition system allowing 8" wafer transfer, 4 sputter cathodes and 6 e-beam pockets and eKLipse advanced control software.