Type
Apparatuur
Acroniem
AV RIE
Code
APP/00227
Datum van ingebruikname
01-10-2009 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Natural sciences
- Photonics, optoelectronics and optical communications
Trefwoorden
anisotropisch etsen
RIE
plasma etsen
halfgeleider etsen
Merknaam/fabrikant
Advanced Vacuum Vision 320 RIE
Andere informatie
Omschrijving
RIE-systeem (Reactive Ion Etching) voor het etsen van materialen zoals SiO₂, Si₃N₄, silicium en polymeren.