Type
Apparatuur
Acroniem
Vacuum oven
Code
APP/00297
Datum van ingebruikname
01-01-2005 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Engineering and technology
- Semiconductor devices, nanoelectronics and technology
Trefwoorden
legering
lage druk verwerking
thermische behandeling
vacuümoven
vormgas
Merknaam/fabrikant
Hereaus VT5042
Andere informatie
Omschrijving
Een vacuüm legeringsoven voor bakprocessen tot 400 °C in een lage druk (~10⁻¹ mbar), neutrale atmosfeer. Ondersteunt vacuüm, stikstof of forming gas (H₂-N₂).