Type
Apparatuur
Acroniem
Film Sense
Code
APP/00285
Datum van ingebruikname
01-07-2020 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Engineering and technology
- Semiconductor devices, nanoelectronics and technology
Trefwoorden
laagdikte
dunnefilmmeting
ellipsometrie
transparante films
optische eigenschappen
brekingsindex
Merknaam/fabrikant
Film Sense FS-1EX
Andere informatie
Omschrijving
Een multi-golflengte ellipsometer voor nauwkeurige diktemeting van transparante of halftransparante dunne films en laagstapels.