Infrastructuur

Multi-golflengte ellipsometer

Type
Apparatuur
Acroniem
Film Sense
Code
APP/00285
Datum van ingebruikname
01-07-2020 → …
Onderzoeksdisciplines
  • Engineering and technology
    • Semiconductor devices, nanoelectronics and technology
Trefwoorden
laagdikte dunnefilmmeting ellipsometrie transparante films optische eigenschappen brekingsindex
Merknaam/fabrikant
Film Sense FS-1EX
Andere informatie
 
Omschrijving

Een multi-golflengte ellipsometer voor nauwkeurige diktemeting van transparante of halftransparante dunne films en laagstapels.