Type
Apparatuur
Acroniem
Alcatel sputter
Code
APP/00289
Datum van ingebruikname
01-01-1995 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Engineering and technology
- Semiconductor devices, nanoelectronics and technology
Trefwoorden
reactief sputteren
dunnefilmafzetting
dc-magnetron sputteren
geleidende materialen
Merknaam/fabrikant
Alcatel SCM-6000
Andere informatie
Omschrijving
Een DC-magnetron sputtersysteem voor het afzetten van geleidende materialen op vlakke substraten tot 6" diameter. Voornamelijk gebruikt voor niet-reactieve sputtering, maar ondersteunt ook reactieve sputtering met zuurstof. Het systeem gebruikt een 203 mm target voor uniforme dunnefilmafzetting.