Infrastructuur
Geautomatiseerd galvaniseer- en natverwerkingssysteem (200mm wafers)
Type
Apparatuur
Acroniem
ClassOne S8
Code
APP/00269
Datum van ingebruikname
01-10-2025 → …
Organisatie
Beherende faculteit
Onderzoeksdisciplines
-
Natural sciences
- Photonics, optoelectronics and optical communications
Trefwoorden
natte verwerking
metaal depositie
ECD
elektroplating
geautomatiseerde plating
Merknaam/fabrikant
ClassOne Solstice S8
Andere informatie
Omschrijving
De Solstice® S8 is een volledig geautomatiseerd galvaniseersysteem met 8 kamers voor elektrochemische afzetting (ECD) van Au, Cu, Sn en Ni, waferreiniging, metaallift-off en etsen. Ondersteunt wafers tot 200 mm.