Type
Apparatuur
Acroniem
Unitemp - BCB
Code
APP/00258
Datum van ingebruikname
01-07-2006 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Natural sciences
- Photonics, optoelectronics and optical communications
Trefwoorden
wafer verwarming
thermische verwerking
compacte oven
Merknaam/fabrikant
Unitemp
Andere informatie
Omschrijving
De Unitemp is een kleine oven die alleen wordt gebruikt voor de thermische verwerking van BCB. De maximale substraatgrootte is 6 inch.