Type
Apparatuur
Acroniem
LDI
Code
APP/00327
Datum van ingebruikname
01-01-2012 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Engineering and technology
- Semiconductor devices, nanoelectronics and technology
Trefwoorden
patroonvorming zonder masker
fotoresistbelichting
laser direct imaging
lithografie
hoge resolutie
Merknaam/fabrikant
Heidelberg Instruments DWL-66FS
Andere informatie
Omschrijving
Het Heidelberg DWL66 LDI-systeem gebruikt laser direct imaging om lichtgevoelige materialen te belichten met een resolutie tot 1 μm. Laser: 250 mW @ 355 nm.