Instellingen beheren
MENU
Over deze site
In English
Home
Onderzoekers
Projecten
Organisaties
Publicaties
Infrastructuur
Contact
Research Explorer
Uw browser ondersteunt geen JavaScript of JavaScript is niet ingeschakeld. Zonder JavaScript kan sommige functionaliteit van deze webapplicatie uitgeschakeld zijn of foutmeldingen veroorzaken. Raadpleeg om JavaScript in te schakelen de handleiding van uw browser of contacteer uw systeembeheerder.
Onderzoeker
Tanya Atanasova
Profiel
Projecten
Publicaties
Activiteiten
Prijzen & Erkenningen
7
Resultaten
2013
Electrochemical determination of the cupric ion activity in aqeuous acidic cupric sulfate electrolytes
Tanya Atanasova
Katrien Strubbe
Philippe M Vereecken
A1
Artikel in een tijdschrift
in
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY
2013
Ultra-low copper baths for sub-35 nm copper interconnects
Tanya Atanasova
L Carbonell
R Caluwaerts
Zs Tõkei
Katrien Strubbe
PM Vereecken
A1
Artikel in een tijdschrift
in
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY
2013
2012
Ultra-low copper baths for sub-35 nm copper interconnects
Tanya Atanasova
Katrien Strubbe
Laureen Carbonell
Rudy Caluwaerts
Zsolt Tokei
Philippe M Vereecken
P1
Conferentie
2012
2011
Adsorption/desorption of suppressor complex on copper : description of the critical potential
Tanya Atanasova
Katrien Strubbe
Philippe M Vereecken
P1
Conferentie
2011
Ultra-low copper baths for sub-35 nm copper interconnects
Tanya Atanasova
Katrien Strubbe
Laureen Carbonell
Rudy Caluwaerts
Zsolt Tokei
Philippe Vereecken
C3
Conferentie
2011
2010
Adsorption/desorption of suppressor complex on copper : descrition of the critical potential
Tanya Atanasova
Katrien Strubbe
Philippe M Vereecken
C3
Conferentie
2010
2009
Physicochemical mechanism of Damascene copper plating : effect of suppressor
Tanya Atanasova
Katrien Strubbe
Philippe M Vereecken
C3
Conferentie
2009