Koen VanhollebekeIngrid MoermanPeter Van DaelePiet Demeester
A2
Artikel in een tijdschrift
in
Presented at the 41st Electronic Materials Conference (EMC 99), Published in Journal of Electronic Materials (Vol. 28, Nr. 7, July 1999), 30 June - 2 July 1999, Santa Barbara, California, USA
1999