In dit project zal XPS aangewend worden om de chemische oppervlaktesamenstelling te bepalen van een kathode gebruikt in magnetron sputteren. Deze informatie is het startpunt om de de sputteropbrengst en de elektronemissie opbrengst te berekenen. De sputteropbrengst zal berekend worden aan de hand van bestaande Monte Carlo software, terwijl de elektronenopbrengst zal berekend worden door middel van “first principles” technieken.