Project

Kwantificatie van targetoppervlakken (QUOTAS)

Looptijd
01-01-2014 → 31-12-2019
Financiering
Fonds voor Wetenschappelijk Onderzoek - Vlaanderen (FWO)
Onderzoeksdisciplines
  • Natural sciences
    • Condensed matter physics and nanophysics not elsewhere classified
    • Physics of (fusion) plasmas and electric discharges
Trefwoorden
simulaties sputteren elektronenopbrengst
 
Projectomschrijving

In dit project zal XPS aangewend worden om de chemische oppervlaktesamenstelling te bepalen van een kathode gebruikt in magnetron sputteren. Deze informatie is het startpunt om de de sputteropbrengst en de elektronemissie opbrengst te berekenen. De sputteropbrengst zal berekend worden aan de hand van bestaande Monte Carlo software, terwijl de elektronenopbrengst zal berekend worden door middel van “first principles” technieken.