Project

Elektrochemische Kiemvorming en de groei van Koper

Code
180D1209
Looptijd
15-02-2009 → 05-03-2013
Financiering
Gewestelijke en gemeenschapsmiddelen: divers
Onderzoeksdisciplines
  • Natural sciences
    • Inorganic chemistry
Trefwoorden
Elektrochemische Kiemvorming
 
Projectomschrijving

Het primaire doel van dit onderzoek is het begrijpen van de elektrochemische nucleatie en groeiprocessen die noodzakelijk zijn voor succesvolle elektrodepositie van koper op diffusiebarrière lagen te verbeteren (TiN of TaN, bijvoorbeeld). Het mechanisme van kiemvorming en groei van koper uit verschillende bekledingsoplossingen wordt bestudeerd met behulp electrocemical technieken zoals cuclic voltammetrie; chronoamperometrie en roterende schijfelektrode technieken. Afgezette films worden gekenmerkt behulp van scanning elektronenmicroscopie (SEM), atomic force microscopie (AFM), en andere geschikte oppervlaktekarakterisering technieken. Met behulp van de resultaten van deze experimenten zullen we procedures te optimaliseren voor elektrodepositie van continue, hoge kwaliteit koper films op verschillende substraten.