Er wordt gestreefd naar een fundamenteel begrip van de oppervlaktechemie en de mechanismen die de initiële nucleatie en de daaropvolgende evolutie van de morfologie van de film tijdens metaal-ALD controleren. Er worden 3 ALD processen voor Ru en Ag gekozen als prototype systemen. De experimentele aanpak gebruikt oppervlakte gevoelige x-stralen gebaseerde karakterisatie technieken, die in situ of zonder vacuüm-breuk toegepast kunnen worden.