Het groeimechanisme, de conformaliteit en de transformatie in nanoporeuze films van metalcone films wordt onderzocht met behulp van verscheidene in-­‐situ karakterisatietechnieken. Onderwerpen die hierbij aan bod komen zijn o.a. de binding van de organische precursor met het oppervlak, conformaliteit op high aspect ratio structuren en porositeit van de getransformeerde metalcone lagen.