Code
01SF0213
Looptijd
01-01-2014 → 31-01-2018
Financiering
Gewestelijke en gemeenschapsmiddelen: Bijzonder Onderzoeksfonds
Promotor
Mandaathouder
Onderzoeksdisciplines
-
Natural sciences
- Dielectrics, piezoelectrics and ferroelectrics
- Electronic (transport) properties
- Structural and mechanical properties
- Condensed matter physics and nanophysics not elsewhere classified
- Materials physics not elsewhere classified
- Physics of (fusion) plasmas and electric discharges
Trefwoorden
Magnetron sputterdepositie
groeimechanismen
simulaties
Projectomschrijving
Het project bestudeert de groei van dunne lagen van calcium fosfaat dunne lagen. Het doel is om relaties op te stellen tussen de depositieomstandigheden (zoals vermogen, druk, gas atmosfeer en substraat temperaturen) en de eigenschappen van de afgezette lagen. De combinatie van zowel dunne laagkarakterisatie en plasmakarakterisatie laat toe om de fundamentale groeiparameters te ontrafelen.