Project

Een fundamentele studie van nucleatie en groei tijdens thermische en plasmaversterkte atomaire laag depositie van edelmetalen via in situ synchrotron-gebaseerde karakterisatietechnieken.

Code

3E003513

Looptijd

01-10-2013 → 01-03-2020

Financiering

Fonds voor Wetenschappelijk Onderzoek - Vlaanderen (FWO), Gewestelijke en gemeenschapsmiddelen: Bijzonder Onderzoeksfonds

Promotor

Christophe Detavernier

Mandaathouder

Jolien Dendooven

Onderzoeksdisciplines

Natural sciences
- Condensed matter physics and nanophysics
- Analytical chemistry
- Macromolecular and materials chemistry
Engineering and technology
- Ceramic and glass materials
- Materials science and engineering
- Semiconductor materials
- Other materials engineering

Trefwoorden

nucleatie groeikinetiek X-stralen fluorescentie ALD GISAXS atomaire laag depositie

Projectomschrijving

Tijdens dit project in het de bedoeling om meer inzicht te verwerven in atomaire laag depositie (ALD) van edelmetalen. In situ x-stralen fluorescentie en verstrooiingstechnieken zullen gebruikt worden om de vorming van nanodeeltjes tijdens de initiële groeifase te bestuderen, alsook het sintergedrag van de nanodeeltjes bij verhoogde temperatuur en het effect van stabiliserende ultradunne ALD coatings.