Uw browser ondersteunt geen JavaScript of JavaScript is niet ingeschakeld. Zonder JavaScript kan sommige functionaliteit van deze webapplicatie uitgeschakeld zijn of foutmeldingen veroorzaken. Raadpleeg om JavaScript in te schakelen de handleiding van uw browser of contacteer uw systeembeheerder.

Project

Atomaire laag depositie van inorganische elektrolieten voor lithiumion batterijen

Informatie

Projectteam

Output en outcomes

Publicaties

Atomic layer deposition of ruthenium dioxide based on redox reactions between alcohols and ruthenium tetroxide

Nithin PoonkottilMatthias MinjauwAndreas WerbrouckStefano ChecchiaEduardo SolanoMikko NisulaAlexis FranquetChristophe DetavernierJolien Dendooven

A1 Artikel in een tijdschrift in CHEMISTRY OF MATERIALS

2022

Surface reactions between LiHMDS, TMA and TMP leading to deposition of amorphous lithium phosphate

Andreas WerbrouckFelix MattelaerArpan DharaMikko NisulaMatthias MinjauwFrans MunnikJolien DendoovenChristophe Detavernier

A1 Artikel in een tijdschrift in JOURNAL OF MATERIALS CHEMISTRY A

2022

Plasma-enhanced atomic layer deposition : correlating O2 plasma parameters and species to blister formation and conformal film growth

Andreas WerbrouckKevin Van de KerckhoveDiederik DeplaDirk PoelmanPhilippe SmetJolien DendoovenChristophe Detavernier

A1 Artikel in een tijdschrift in JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A

2021