Project

TIMERS : een gerichte studie op kortstondige effecten tijdens reactief sputteren.

Acroniem
TIMERS
Looptijd
01-12-2019 → Lopend
Financiering
Gewestelijke en gemeenschapsmiddelen: Bijzonder Onderzoeksfonds
Onderzoeksdisciplines
  • Natural sciences
    • Applied mathematics in specific fields not elsewhere classified
Trefwoorden
Sputteren dunne lagen magnetron modelleren
 
Projectomschrijving

Reactief magnetron sputteren is een veel gebruikte depositietechniek met een interessante, maar onbegrepen dynamica. De belangrijkste doelstelling van het project is om deze dynamica te modelleren om zo een meer uitgebreide versie van het Reactief Sputter Deposition (RSD) model te bekomen waarmee de meest gecompliceerde processen van dit proces beschreven kunnen worden.