Type
Apparatuur
Acroniem
Parylene coater
Code
APP/00322
Datum van ingebruikname
01-01-2021 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Engineering and technology
- Semiconductor devices, nanoelectronics and technology
Trefwoorden
paryleenafzetting
dunnefilmafzetting
biocompatibele films
conformele coating
Merknaam/fabrikant
Comelec CS-30
Andere informatie
Omschrijving
Vacuümgebaseerd parylene-depositiesysteem voor het coaten van wafers en componenten met uniforme, porievrije, biocompatibele lagen.