Type
Apparatuur
Acroniem
FEG-SEM
Code
APP/00325
Datum van ingebruikname
01-07-2015 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Engineering and technology
- Semiconductor devices, nanoelectronics and technology
Trefwoorden
veldemissie SEM
EDS
hogeresolutie-beeldvorming
elementenanalyse
Merknaam/fabrikant
JEOL JSM_7000F
Andere informatie
Omschrijving
FEG-SEM met detectoren voor secundaire en teruggekaatste elektronen voor hoge-resolutie beeldvorming. Ondersteunt ook elementanalyse via EDS. Biedt scherpere beelden bij vergrotingen boven ×20.000 dan SEM’s met wolfraamfilament.