Type
Apparatuur
Acroniem
MEMSStar
Code
APP/00243
Datum van ingebruikname
01-04-2025 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Natural sciences
- Photonics, optoelectronics and optical communications
Trefwoorden
dampfase etsen
isotropisch etsen
MEMS vrijgave
XeF₂ etsen
Merknaam/fabrikant
MEMSStar ORBIS™ ALPHA system
Andere informatie
Omschrijving
Het ORBIS™ ALPHA-systeem van MEMSStar is een Compact XeF₂-dampfase-etsysteem voor selectief etsen van silicium met hoge uniformiteit en procescontrole. Geschikt voor het selectief etsen van materialen zoals SiO2 en Si3N4. Ideaal voor MEMS-toepassingen.