Type
Equipment
Acronym
MEMSStar
Code
APP/00243
Date of commissioning
01 April 2025 → …
Research disciplines
-
Natural sciences
- Photonics, optoelectronics and optical communications
Keywords
MEMS release
vapor phase etching
isotropic etching
XeF₂ etching
Brand Name/manufacturer
MEMSStar ORBIS™ ALPHA system
Other information
Description
Het ORBIS™ ALPHA-systeem van MEMSStar is een Compact XeF₂-dampfase-etsysteem voor selectief etsen van silicium met hoge uniformiteit en procescontrole. Geschikt voor het selectief etsen van materialen zoals SiO2 en Si3N4. Ideaal voor MEMS-toepassingen.