Type
Apparatuur
Acroniem
Home Made RTA
Code
APP/00241
Datum van ingebruikname
01-01-2005 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Natural sciences
- Photonics, optoelectronics and optical communications
Trefwoorden
annealing
aangepaste thermische verwerking
halfgeleider verwarming
RTA
Merknaam/fabrikant
Custom-built system
Andere informatie
Omschrijving
Op maat gemaakt RTA-systeem (Rapid Thermal Annealer) dat wordt gebruikt om halfgeleiderwafers of materialen snel en gedurende korte tijd tot hoge temperaturen te verwarmen, meestal voor processen zoals doteeractivering, oxidatie of kristallisatie.