Type
Apparatuur
Acroniem
Jipelec-RTA
Code
APP/00240
Datum van ingebruikname
01-10-2025 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Natural sciences
- Photonics, optoelectronics and optical communications
Trefwoorden
RTP
halfgeleider verwarming
snelle thermische annealing
thermische verwerking
Merknaam/fabrikant
Jipelec JetFirst 200 RTP
Andere informatie
Omschrijving
Het JetFirst RTP-systeem is een compacte en robuuste lampoven die geschikt is voor het Rapid Thermal Annealing (RTA) van siliciumwafers met een diameter tot 200 mm.