Type
Apparatuur
Acroniem
Jipelec-RTA
Code
APP/00240
Datum van ingebruikname
01-10-2025 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Natural sciences
- Photonics, optoelectronics and optical communications
Trefwoorden
RTP
halfgeleider verwarming
snelle thermische annealing
thermische verwerking
Merknaam/fabrikant
Jipelec JetFirst 200 RTP
Andere informatie
Omschrijving
The JetFirst RTP system is a compact and robust lamp furnace suitable for the Rapid Thermal Annealing (RTA) of silicon wafers with a size up to 200mm diameter.