Type
Apparatuur
Acroniem
SET aligner
Code
APP/00318
Datum van ingebruikname
01-01-2000 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Engineering and technology
- Semiconductor devices, nanoelectronics and technology
Trefwoorden
fotolithografie
maskeruitlijner
UV-belichting
handmatige uitlijning
Merknaam/fabrikant
SET MG1410
Andere informatie
Omschrijving
Handmatige mask aligner voor nauwkeurige UV-patroonoverdracht op met fotoresist gecoate substraten in fotolithografieprocessen.