Infrastructuur

Precisie waferbreeksysteem

Type
Apparatuur
Acroniem
Lattice
Code
APP/00238
Datum van ingebruikname
01-01-2024 → …
Onderzoeksdisciplines
  • Natural sciences
    • Photonics, optoelectronics and optical communications
Trefwoorden
handmatig klieven precisie klieven wafer klieven
Merknaam/fabrikant
PELCO LatticeAx 225
Andere informatie
 
Omschrijving

Precisiesplijtsysteem voor het nauwkeurig verkleinen van wafers en substraten. Biedt gecontroleerde en reproduceerbare breuken.