Type
Apparatuur
Acroniem
Wyko
Code
APP/00310
Datum van ingebruikname
01-01-2008 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Engineering and technology
- Semiconductor devices, nanoelectronics and technology
Trefwoorden
oppervlaktemapping
vormanalyse
witlichtinterferometrie
sub-nanometerresolutie
oppervlakteruwheid
Merknaam/fabrikant
Veeco Wyko NT3300
Andere informatie
Omschrijving
Een witlichtinterferometer die een gebied van enkele millimeters breed in één meting kan in kaart brengen, met sub-nanometerresolutie. Biedt directe informatie over oppervlakteruwheid, vorm en golving.