Type
Apparatuur
Acroniem
Univex 450
Code
APP/00235
Datum van ingebruikname
01-01-2005 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Natural sciences
- Photonics, optoelectronics and optical communications
Trefwoorden
thermische verdamping
sputteren
PVD
dunne film depositie
Merknaam/fabrikant
Leybold Univex 450
Andere informatie
Omschrijving
Modulair vacuümcoatingsysteem voor dunnefilmdepositie via thermische verdamping en sputteren. Veel gebruikt in onderzoek en pilotproductie.