Infrastructuur

Verdampings- en sputterinstallatie

Type
Apparatuur
Acroniem
Univex 450
Code
APP/00235
Datum van ingebruikname
01-01-2005 → …
Onderzoeksdisciplines
  • Natural sciences
    • Photonics, optoelectronics and optical communications
Trefwoorden
thermische verdamping sputteren PVD dunne film depositie
Merknaam/fabrikant
Leybold Univex 450
Andere informatie
 
Omschrijving

Modulair vacuümcoatingsysteem voor dunnefilmdepositie via thermische verdamping en sputteren. Veel gebruikt in onderzoek en pilotproductie.