Type
Apparatuur
Acroniem
e-gun
Code
APP/00234
Datum van ingebruikname
01-01-2005 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Natural sciences
- Photonics, optoelectronics and optical communications
Trefwoorden
PVD
dunne film depositie
elektronenbundel verdamping
Merknaam/fabrikant
Leybold L560
Andere informatie
Omschrijving
Systeem voor het verdampen van isolerende en geleidende lagen via elektronenbundelverwarming. Geschikt voor het nauwkeurig aanbrengen van dunne metaallagen of coatings op diverse substraten.