Type
Apparatuur
Acroniem
Dektak 150
Code
APP/00232
Datum van ingebruikname
01-01-2011 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Natural sciences
- Photonics, optoelectronics and optical communications
Trefwoorden
profilometrie
stap hoogte meting
dunne film karakterisering
oppervlakte ruwheid
metrologie
Merknaam/fabrikant
Dektak 150
Andere informatie
Omschrijving
Mechanische profilometer voor het meten van staphoogtes van enkele nanometers tot honderden micrometers.