Infrastructuur
Dunnefilmdiktemeetsysteem
Type
Apparatuur
Acroniem
Filmetrics F40
Code
APP/00230
Datum van ingebruikname
01-01-2016 → …
Organisatie
Beherende faculteit
Onderzoeksdisciplines
-
Natural sciences
- Photonics, optoelectronics and optical communications
Trefwoorden
film dikte
reflectometrie
optische metrologie
dunne film meting
Merknaam/fabrikant
Filmetrics F40
Andere informatie
Omschrijving
Optisch meetsysteem voor het bepalen van dikte en brekingsindex van transparante dunne films met een meetspot van 1 µm.