Type
Apparatuur
Acroniem
AV PECVD
Code
APP/00226
Datum van ingebruikname
01-10-2009 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Natural sciences
- Photonics, optoelectronics and optical communications
Trefwoorden
dunne film depositie
plasma-versterkte CVD
diëlektrische films
PECVD
Merknaam/fabrikant
Advanced Vacuum Vision 310 PECVD
Andere informatie
Omschrijving
Plasmadepositiesysteem voor het aanbrengen van dunne lagen zoals SiO₂, Si₃N₄ en amorf silicium via PECVD-technologie.