Infrastructuur

Precisie slijp- en polijstsysteem

Type
Apparatuur
Acroniem
Logitech PM5
Code
APP/00301
Datum van ingebruikname
01-01-2008 → …
Onderzoeksdisciplines
  • Engineering and technology
    • Semiconductor devices, nanoelectronics and technology
Trefwoorden
polijsten opto-elektronica vlakslijpen afschaven chipvoorbereiding oppervlakteafwerking
Merknaam/fabrikant
Logitech PM5
Andere informatie
 
Omschrijving

De Logitech PM5 is een slijp- en polijstmachine voor het dunner maken van individuele chips. De technologie is geoptimaliseerd voor siliciumchips en GaAs/InP opto-elektronische componenten.