Type
Apparatuur
Acroniem
Tegal
Code
APP/00294
Datum van ingebruikname
01-01-1995 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Engineering and technology
- Semiconductor devices, nanoelectronics and technology
Trefwoorden
oppervlakte-reiniging
verwijdering van organisch materiaal
plasma-etsing
zuurstofplasma
Merknaam/fabrikant
Tegal 915
Andere informatie
Omschrijving
An oxygen plasma etcher used for ashing and surface cleaning of organic materials.