Type
Apparatuur
Acroniem
Leybold sputter
Code
APP/00291
Datum van ingebruikname
01-01-1995 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Engineering and technology
- Semiconductor devices, nanoelectronics and technology
Trefwoorden
bias-sputteren
dunnefilmafzetting
RF-sputteren
Merknaam/fabrikant
Leybold Hereaus Z550
Andere informatie
Omschrijving
Een hoogvacuüm sputtersysteem dat DC-, RF- (hoogfrequent) en bias-sputtering ondersteunt vanaf drie 203 mm targets. Eén positie laat sputtering toe bij verhoogde temperatuur. Een geïntegreerde etsmode maakt reiniging van het substraat mogelijk vóór afzetting.