Type
Apparatuur
Acroniem
Diener plasma
Code
APP/00287
Datum van ingebruikname
01-01-2007 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Engineering and technology
- Semiconductor devices, nanoelectronics and technology
Trefwoorden
plasmabehandeling
oppervlakteactivatie
substraatreiniging
Merknaam/fabrikant
Diener Pico
Andere informatie
Omschrijving
Compact plasma-apparaat voor het reinigen, activeren of licht etsen van substraten bij kamertemperatuur.