Type
Apparatuur
Acroniem
Coater SEM
Code
APP/00284
Datum van ingebruikname
01-01-2000 → …
Onderzoeksdisciplines
-
Engineering and technology
- Semiconductor devices, nanoelectronics and technology
Trefwoorden
SEM-samplepreparatie
geleidende coating
dunnefilmafzetting
koolstofcoating
sputteren
goudcoating
Merknaam/fabrikant
SPI Module
Andere informatie
Omschrijving
Kleine sputtercoater / verdamper voor het aanbrengen van dunne geleidende lagen van goud of koolstof voor SEM- en/of EDS-analyse.